Intel Foundry ประกาศความสำเร็จในการติดตั้งเครื่อง EUV ที่ล้ำหน้าที่สุดในโลกในขณะนี้ นั่นคือ ASML TWINSCAN EXE:5200B High-NA EUV ภายในโรงงานของบริษัท โดย Intel กำลังใช้เทคโนโลยี High-NA EUV lithography ในการผลิตกระบวนการ 14A ซึ่งถือเป็นการเปลี่ยนผ่านของอุตสาหกรรมจากยุค Low-NA อย่างเป็นทางการ
Intel ระบุว่า ได้ร่วมมือกับ ASML จนผ่านขั้นตอนการทดสอบรับรองเครื่อง (acceptance testing) สำหรับกระบวนการ 14A เรียบร้อยแล้ว เพื่อเพิ่มปริมาณการผลิตเวเฟอร์ เครื่อง TWINSCAN EXE:5200B ถือเป็น High-NA EUV รุ่นที่สองของ ASML ต่อจาก TWINSCAN EXE:5000 ซึ่ง Intel เคยนำมาใช้ในการทดสอบกระบวนการ 14A ระยะแรก
ก่อนหน้านี้ Intel เคยรายงานว่าสามารถประมวลผลเวเฟอร์ได้มากกว่า 30,000 แผ่นภายในไตรมาสเดียว โดยอาศัยการทำให้กระบวนการผลิตเรียบง่ายขึ้น ลดจำนวนขั้นตอนของเลเยอร์บางส่วนจากเดิมประมาณ 40 ขั้นตอน เหลือน้อยกว่า 10 ขั้นตอน ส่งผลให้รอบเวลาการผลิต (cycle time) สั้นลงอย่างมีนัยสำคัญ
สำหรับเครื่อง TWINSCAN EXE:5200B รุ่นใหม่นี้ ให้กำลังการผลิตที่ 175 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง ภายใต้เงื่อนไขมาตรฐาน และ Intel มีแผนปรับแต่งให้ทะลุ 200 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง นอกจากนี้ยังช่วยยกระดับความแม่นยำด้านการจัดแนวเลเยอร์ (overlay) ทำให้สามารถจัดตำแหน่งลวดลายของแต่ละเลเยอร์ได้แม่นยำถึงระดับ 0.7 นาโนเมตร
ความสำเร็จครั้งนี้ต่อยอดจากประสบการณ์ด้าน High-NA EUV ของ Intel ซึ่งเริ่มต้นตั้งแต่ปี 2023 เมื่อบริษัทติดตั้งเครื่อง High-NA เชิงพาณิชย์เครื่องแรกของโลกที่ศูนย์วิจัยและพัฒนาในรัฐโอเรกอน ปัจจุบัน Intel ได้เริ่มส่งมอบ 14A PDK 0.5 ให้กับลูกค้าแล้ว และมีรายงานว่าลูกค้าพึงพอใจกับความคืบหน้าของกระบวนการนี้เป็นอย่างมาก
Intel ยังระบุด้วยว่า การพัฒนาโหนด 14A ในตอนนี้ให้ผลด้าน yield และประสิทธิภาพ ที่ดีกว่าที่เคยทำได้กับโหนด 18A ในช่วงเวลาเดียวกันของการพัฒนา
แผนในระยะถัดไป Intel ตั้งเป้าเริ่ม การผลิตเชิงปริมาณ (volume production) ของโหนด 14A ในปี 2027 ซึ่งได้รับความสนใจจากลูกค้าหลายราย อย่างไรก็ตาม ลูกค้ายังคงมีความกังวลเรื่อง ความปลอดภัยของข้อมูล และกำลังการผลิตเวเฟอร์ที่เพียงพอ เมื่อต้องร่วมงานกับพันธมิตรโรงงานผลิตรายใหม่
เพื่อแก้ปัญหานี้ Intel จำเป็นต้องจัดหาเครื่อง High-NA EUV เพิ่มเติมก่อนขยายฐานลูกค้า เนื่องจากกำลังการผลิตระดับ 30,000 เวเฟอร์ต่อไตรมาสอาจเพียงพอสำหรับลูกค้าบางส่วนเท่านั้น แต่ยังไม่มากพอสำหรับการเป็นผู้รับจ้างผลิตชิประดับอุตสาหกรรมเต็มรูปแบบ
ในขณะเดียวกัน โหนด 18A ซึ่งใช้เทคโนโลยี Low-NA EUV จะยังคงเดินสายการผลิตควบคู่กับ 14A และจะมีหลายเวอร์ชันให้เลือก ซึ่งจะช่วยถ่วงดุลความต้องการด้านกำลังการผลิตในช่วงเปลี่ยนผ่านได้
ที่มา: TechPowerUp
